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● 三軸線性磁軸電機(jī)與三軸精密絲桿模組
● 支持空間中任意點(diǎn)繞點(diǎn)運(yùn)動(dòng)
● 支持空間中任意點(diǎn)執(zhí)行任意路徑軌跡運(yùn)動(dòng)
● 支持軌跡勻速、變速、軌跡與IO聯(lián)動(dòng)等
● 標(biāo)定后全局絕對(duì)定位精度：6μm
● 支持非標(biāo)定制